清華舉辦2015年中國(guó)平坦化技術(shù)大會(huì)暨海峽兩岸平坦化技術(shù)論壇
清華新聞網(wǎng)6月2日電 （通訊員 王同慶）5月28日、29日，由中國(guó)平坦化技術(shù)聯(lián)盟主辦、清華大學(xué)承辦的2015年中國(guó)平坦化技術(shù)大會(huì)暨海峽兩岸平坦化技術(shù)論壇在清華大學(xué)舉行。平坦化技術(shù)相關(guān)領(lǐng)域的專(zhuān)家、學(xué)者和研究生一百余人參加了此次大會(huì)。
清華大學(xué)校長(zhǎng)助理、機(jī)械工程學(xué)院院長(zhǎng)尤政院士，中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)執(zhí)行副理事長(zhǎng)、秘書(shū)長(zhǎng)徐小田，國(guó)家自然科學(xué)基金委工程與材料科學(xué)部常務(wù)副主任黎明，清華大學(xué)機(jī)械系主任、國(guó)際摩擦學(xué)會(huì)副主席雒建斌院士出席開(kāi)幕式并致辭。大會(huì)由會(huì)議主席、中國(guó)平坦化技術(shù)聯(lián)盟主席、清華大學(xué)機(jī)械系路新春教授主持。
尤政致辭。
在為期兩天的會(huì)議議程中，臺(tái)灣科技大學(xué)陳炤彰教授、華僑大學(xué)副校長(zhǎng)徐西鵬教授、國(guó)防科技大學(xué)戴一帆教授等專(zhuān)家、學(xué)者和業(yè)界代表為大家做了35場(chǎng)學(xué)術(shù)報(bào)告。此外，還有22位與會(huì)者進(jìn)行了張貼交流。各界專(zhuān)家學(xué)者圍繞平坦化技術(shù)的機(jī)遇和挑戰(zhàn)，就CMP前沿技術(shù)、拋光工藝與后清洗、CMP耗材、CMP機(jī)理與仿真、硬質(zhì)材料CMP等重要議題，分享研究和思考取得了一系列重要的交流成果。
論壇現(xiàn)場(chǎng)。
本次會(huì)議設(shè)立了優(yōu)秀報(bào)告獎(jiǎng)，通過(guò)表彰在學(xué)界和業(yè)界的創(chuàng)新思想與研究，推動(dòng)平坦化技術(shù)研究和應(yīng)用不斷進(jìn)步。經(jīng)過(guò)專(zhuān)家認(rèn)真評(píng)選，最終評(píng)出優(yōu)秀報(bào)告3篇。閉幕式上，路新春為優(yōu)秀報(bào)告獲獎(jiǎng)?wù)哳C獎(jiǎng)。
供稿：機(jī)械系 學(xué)生編輯：長(zhǎng) 松
