清華新聞網(wǎng)6月9日電 6月8日，清華大學(xué)機(jī)械系成果轉(zhuǎn)化項(xiàng)目公司華海清科股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“華海清科”，股票代碼：“688120”）成功登陸科創(chuàng)板。
海清科股份有限公司上市
華海清科成立于2013年4月，是對(duì)清華大學(xué)機(jī)械系雒建斌院士、路新春教授團(tuán)隊(duì)在化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)領(lǐng)域等科研成果進(jìn)行的產(chǎn)業(yè)化實(shí)踐。目前，華海清科所生產(chǎn)的CMP設(shè)備可廣泛應(yīng)用于12英寸和8英寸集成電路大生產(chǎn)線(xiàn)，相關(guān)技術(shù)已達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。公司推出了國(guó)內(nèi)首臺(tái)12英寸CMP設(shè)備并實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)銷(xiāo)售，是目前國(guó)內(nèi)唯一一家為集成電路制造商提供12英寸CMP商業(yè)機(jī)型的高端半導(dǎo)體設(shè)備制造商。公司所產(chǎn)主流機(jī)型成功填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白，打破了國(guó)際巨頭在此領(lǐng)域數(shù)十年的壟斷，推動(dòng)了國(guó)內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。華海清科將堅(jiān)持以集成電路產(chǎn)業(yè)需求為導(dǎo)向，以自主研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用為關(guān)鍵突破口，立足國(guó)內(nèi)、面向全球，努力提升在全球集成電路裝備領(lǐng)域的市場(chǎng)份額和品牌影響力，進(jìn)一步向國(guó)際知名的集成電路高端裝備及技術(shù)服務(wù)供應(yīng)商進(jìn)軍。機(jī)械系也將持續(xù)為華海清科CMP設(shè)備的技術(shù)升級(jí)改造提供探索性理論研究。
未來(lái)，機(jī)械系將繼續(xù)以解決重大工程問(wèn)題的關(guān)鍵技術(shù)為使命，結(jié)合學(xué)科前沿和時(shí)代發(fā)展的重大需求，為國(guó)家重大工程領(lǐng)域的發(fā)展貢獻(xiàn)關(guān)鍵力量。
供稿：機(jī)械系
編輯：陳曉艷
審核：呂婷
