國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)“光刻機(jī)雙工件臺(tái)系統(tǒng)樣機(jī)研發(fā)”項(xiàng)目通過(guò)內(nèi)部驗(yàn)收

　　清華新聞網(wǎng)2月2日電 1月29-30日，國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”（簡(jiǎn)稱(chēng)02專(zhuān)項(xiàng)）實(shí)施管理辦公室在清華大學(xué)組織召開(kāi)了“光刻機(jī)雙工件臺(tái)系統(tǒng)樣機(jī)研發(fā)”項(xiàng)目的專(zhuān)項(xiàng)內(nèi)部驗(yàn)收會(huì)。

　　項(xiàng)目由清華大學(xué)承擔(dān)，機(jī)械工程系朱煜教授擔(dān)任項(xiàng)目負(fù)責(zé)人，項(xiàng)目總經(jīng)費(fèi)2.23億元。該項(xiàng)目以研制光刻機(jī)雙工件臺(tái)系統(tǒng)樣機(jī)為目標(biāo)，為我國(guó)自主研發(fā)65-28nm雙工件臺(tái)干式及浸沒(méi)式光刻機(jī)提供具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的核心子系統(tǒng)。該項(xiàng)目聯(lián)合了華中科技大學(xué)、上海微電子裝備有限公司和成都工具所3家單位，下設(shè)10個(gè)課題，清華大學(xué)機(jī)械工程系、精密儀器系和材料學(xué)院分別承擔(dān)了其中6個(gè)課題，機(jī)械工程系IC裝備團(tuán)隊(duì)承擔(dān)了樣機(jī)集成研發(fā)等核心任務(wù)。

光刻機(jī)雙工件臺(tái)項(xiàng)目?jī)?nèi)部驗(yàn)收會(huì)現(xiàn)場(chǎng)。劉 峰 攝

　　驗(yàn)收專(zhuān)家組由相關(guān)領(lǐng)域22名技術(shù)專(zhuān)家和財(cái)務(wù)專(zhuān)家組成，02專(zhuān)項(xiàng)咨詢(xún)專(zhuān)家委員會(huì)主任馬俊如研究員擔(dān)任任務(wù)驗(yàn)收專(zhuān)家組組長(zhǎng)。02專(zhuān)項(xiàng)技術(shù)總師葉甜春研究員、清華大學(xué)科研院院長(zhǎng)周羽教授、機(jī)械工程學(xué)院院長(zhǎng)雒建斌院士及財(cái)務(wù)處相關(guān)負(fù)責(zé)人出席了驗(yàn)收會(huì)。

驗(yàn)收組專(zhuān)家在清華大學(xué)IC裝備研究室凈化間實(shí)地考察研發(fā)的光刻機(jī)工件臺(tái)樣機(jī)。劉 峰 攝

　　驗(yàn)收會(huì)上，專(zhuān)家組認(rèn)真聽(tīng)取了項(xiàng)目及各課題負(fù)責(zé)人關(guān)于項(xiàng)目及課題完成情況的匯報(bào)、用戶(hù)代表上海微電子裝備有限公司對(duì)項(xiàng)目樣機(jī)測(cè)試驗(yàn)證的報(bào)告和現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試專(zhuān)家組的測(cè)試報(bào)告，審閱了驗(yàn)收材料和財(cái)務(wù)資料。經(jīng)過(guò)充分討論、質(zhì)詢(xún)和評(píng)議，專(zhuān)家組一致同意該項(xiàng)目通過(guò)內(nèi)部任務(wù)驗(yàn)收和財(cái)務(wù)驗(yàn)收。

　　驗(yàn)收專(zhuān)家組認(rèn)為，項(xiàng)目研究團(tuán)隊(duì)針對(duì)光刻機(jī)雙工件臺(tái)技術(shù)，歷經(jīng)5年完成了任務(wù)合同書(shū)的全部研究?jī)?nèi)容，突破了平面電機(jī)、微動(dòng)臺(tái)、超精密測(cè)量、超精密運(yùn)動(dòng)控制、系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)分析、先進(jìn)工程材料制備及應(yīng)用等若干關(guān)鍵技術(shù)，攻克了光刻機(jī)工件臺(tái)系統(tǒng)設(shè)計(jì)和集成技術(shù)，通過(guò)多輪樣機(jī)的迭代研發(fā)，最終研制出2套光刻機(jī)雙工件臺(tái)掩模臺(tái)系統(tǒng)α樣機(jī)，并通過(guò)了相關(guān)測(cè)試，達(dá)到了預(yù)定的全部技術(shù)指標(biāo)。圍繞雙工件臺(tái)技術(shù)完成專(zhuān)利申請(qǐng)231項(xiàng)（其中國(guó)際發(fā)明專(zhuān)利41項(xiàng)），已獲得授權(quán)122項(xiàng)。培養(yǎng)了一支近200人的專(zhuān)業(yè)研發(fā)團(tuán)隊(duì)，建立了高水平研發(fā)平臺(tái)，為后續(xù)產(chǎn)品研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化打下了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。 專(zhuān)家認(rèn)為，該項(xiàng)目的完成，標(biāo)志著我國(guó)成為世界上少數(shù)可以研制光刻機(jī)雙工件臺(tái)這一超精密機(jī)械與測(cè)控技術(shù)領(lǐng)域最尖端系統(tǒng)的國(guó)家，顯著提升了我國(guó)在高端光刻機(jī)這一戰(zhàn)略高科技產(chǎn)品研發(fā)方面的競(jìng)爭(zhēng)能力。

　　專(zhuān)家認(rèn)為，該項(xiàng)目的完成，標(biāo)志著我國(guó)成為世界上少數(shù)可以研制光刻機(jī)雙工件臺(tái)這一超精密機(jī)械與測(cè)控技術(shù)領(lǐng)域最尖端系統(tǒng)的國(guó)家，顯著提升了我國(guó)在高端光刻機(jī)這一戰(zhàn)略高科技產(chǎn)品研發(fā)方面的競(jìng)爭(zhēng)能力。

　　該項(xiàng)目是02專(zhuān)項(xiàng)核心任務(wù)光刻機(jī)項(xiàng)目群中第一個(gè)驗(yàn)收的項(xiàng)目。項(xiàng)目將在近期由02專(zhuān)項(xiàng)實(shí)施管理辦公室組織正式驗(yàn)收。

供稿：機(jī)械工程系 編輯：襄樺